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学位

增材制造切片底切非负误差蜂窝分区扫描路径

用于微惯性器件的ICP刻蚀工艺技术

在微惯性器件加工中，ICP深硅刻蚀技术主要用于梳齿结构的释放．工艺试验中的梳齿结构的最细线条尺寸为2μm，刻蚀深度为40μm，刻蚀的深宽......

期刊

微惯性器件 ICP刻蚀底切根切分步工艺

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