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弧斑相关论文
基于减少大颗粒的弧斑可控电弧源蒸发过程工艺优化研究
真空阴极电弧离子镀技术简称电弧离子镀(Arc Ion Plating),在目前的薄膜制备行业有着广泛的应用。在目前的工业生产当中,还没有哪项......
学位
电弧离子镀
大颗粒
弧斑
靶面温度
缩放频率
真空阴极电弧离子源磁场分析与设计
真空阴极电弧离子源是多弧离子镀膜设备的核心部件,直接影响镀膜系统的整体性能。真空阴极电弧离子源在工作时,大液滴发射是阻碍电......
期刊
真空阴极电弧离子源
电弧放电
弧斑
磁场
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