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弯曲晶片法相关论文
用激光干涉法分析薄膜应力
本文叙述了激光干涉弯曲晶片薄膜应力测定法的原理。依据这一原理建立了薄膜应力分析系统,并实际分析了作为X射线掩模基膜的Si_3N_......
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