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弹性反冲探测技术相关论文
弹性反冲探测技术分析薄膜中的氢和氦含量
给出了用离子束来弹性反冲探测能谱,分析薄膜材料中的轻质元素含量及其深度分布的基本原理和试验方法,并对其发展和应用做了介绍。......
期刊
弹性反冲探测技术
薄膜
氢含量
氦含量
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