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弹性限位块相关论文

冲击环境下MEMS器件的弹性限位块设计

采用限位块可以提高MEMS器件的抗冲击性能,但由于冲击环境中MEMS结构与限位块的碰撞过程可能产生较大的瞬间冲击以致器件失效,用弹......

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MEMS器件冲击环境弹性限位块弹性系数限位距 MEMS device shock environment elastic stopper elastic

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