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强流氧离子注入机相关论文
强流氧离子注入机高温旋转扫描靶的研究
SOI(Silicon On Insulator)是指绝缘材料上的硅,它能突破体硅及其集成电路的限制,在超大规模集成电路、光电子等领域有着广阔的应......
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强流氧离子注入机
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IGBT在离子注入机中的应用问题
本文结合强流氧离子注入机中电源实例,对绝缘栅双极晶体管(IGBT)的特性、短路安全工作区、栅极驱动和可靠保护分别进行了论述.提出了......
期刊
强流氧离子注入机
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