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径向振动锯切相关论文
利用超声振动锯切硅片中的磨粒作用机制
为研究超声振动对单晶硅划片断面形貌形成机制的影响,建立了超声振动磨粒的运动轨迹方程,运用MATLAB软件对磨粒轨迹进行仿真。分别......
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径向振动锯切
单晶硅
磨粒轨迹
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