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微(纳)电机系统相关论文
功能梯度材料热弹性阻尼的发展应用
微(纳)电机系统(MEMS,NEMS)是指尺寸在几毫米乃至更小尺寸的高科技动力装置,其内部结构尺寸一般在微米甚至纳米级,是在微电子技术......
期刊
微(纳)电机系统
功能梯度
材料
热弹性阻尼
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