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微制作工艺相关论文

基于柔性铰链机构的谐振式微加速度计设计制作

为设计制作高灵敏度、高稳定性的谐振式微加速度计,基于微制作工艺,采用柔性铰链机构和双端固定音叉谐振器设计了微加速度计结构;......

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加速度计谐振器微制作工艺有限元方法 accelerometer resonator micro-fabrication finite element

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