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微尺度器件相关论文
微尺度结构与器件的动态力学性能检测系统研究
本文设计和研制了一种能够对微尺度器件或结构进行动态力学性能测量的微散斑干涉平台,完成了微器件中薄膜的热震变形检测,检测结果......
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