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近年来,随着微机电系统(MEMS)的广泛应用,研制可集成于MEMS的微带型微等离子体源日益成为热点。这种微等离子体源具有体积小、易集成......
设计二种基于直接馈电结构的微波缝环谐振器的小功率微波等离子体源。这种结构比之前提出的加入γ/4阻抗变换段的缝环谐振器结构更......