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微梁形状相关论文

驱动微梁形状对微陀螺仪耦合误差的影响分析

为研究微陀螺驱动微梁在加工误差下的微梁形状变化对正交耦合误差、模态耦合以及检测信号的影响,建立了驱动微梁在对角线梁宽误差......

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微陀螺加工误差微梁形状正交误差模态耦合 micro gyroscope machining error micro beam shape or

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