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12dB微波薄膜衰减器的设计与制备
基于T型衰减网络结构设计并仿真了工作频率为DC~3GHz的微波薄膜衰减器,并采用磁控溅射法在BeO基片上制备了TaN微波薄膜衰减器。仿......
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微波薄膜衰减器
TaN薄膜
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