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新型微波ECR-PECVD装置的研制

介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提......

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电磁线圈永磁体微波转换计算机仿真微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 ECR-PECVD ECRPECVD Wave guide Magnetic

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