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微波辅助等离子体化学气相沉积装置相关论文

基片预处理对CVD金刚石薄膜形核的影响

微波辅助等离子体化学气相沉积法是目前低压气相合成金刚石薄膜方法中应用最普遍、工艺最成熟的方法，形核是CVD金刚石沉积的第一步．......

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