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微电子机械系统(MEMS)执行器相关论文

MEMS执行机构在微小力传感器量值溯源中的应用

对一种基于微电子机械系统（MEMS）执行器结构的非接触式三维微小力装置测量原理、装置结构、标定方法、力学特性及使用方法等进行分析......

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微电子机械系统(MEMS)执行器微小力传感器量值溯源 micro-electro-mechanical system（MEMS） actuator mi

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