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微等离子体阵列相关论文

铝衬底微等离子体阵列的制作与光电特性测量

在铝衬底上采用光刻工艺制作了带有氧化铟锡（ITO）透明电极的微等离子体阵列，实验研究了该微等离子体阵列在30～100kPa氖气中的放电特性......

期刊

微等离子体阵列微腔放电铝衬底击穿电压 microplasma array microcavity discharge aluminum substra

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