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微结构硅阵列相关论文
微结构硅NH3传感器的制备及特性研究
多孔硅(Porous Silicon,PS)是在硅基底上通过腐蚀形成的一种具有多孔性结构的材料。多孔硅具有大的比表面积、高的表面化学活性和......
学位
多孔硅
微结构硅阵列
NH3
聚苯胺
并五苯
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