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微结构表面检测相关论文

低噪声双波长数字全息及在超精密加工表面检测中的应用

通过两个不同波长的数字全息包裹相位差产生数字拍频,得到一个等效波长相位图以消除相位包裹,然后用该等效波长相位光程与任一记录......

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双波长干涉微结构表面检测数字相位测量相位解包裹 dual wavelength interferometrymicrostructure surface

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