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微观组分结构相关论文

低温PECVD法形成纳米级介质膜微观结构研究

采用俄歇电子能谱(AES)和傅里叶红外光谱(FTIR)分析低温PECVD法形成纳米级SiOxNy介质膜的微观组分结构及其与制膜工艺间关系,通过......

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介质膜俄歇电子能谱傅里叶红外光谱微观组分结构电学性能 dielectric film Auger electron spectrum Fourier

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