微透镜透列阵相关硕士博士期刊学术论文

研究了用反应离子刻蚀技术制作Ｇｅ材料微透镜列阵的工艺过程及影响透镜列阵质量的因素，总结出“小功率，中气流，掺氧气”的优化工艺特点，制......