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二次离子质谱仪(SIMS)的原理及应用
二次离子质谱仪(SIMS)是表面分析中应用最广泛的技术之一。它的特点是高灵敏度(最低可探测浓度为ppm ̄ppb数量级)和高分辨率(大约10!......
期刊
二次离子质谱仪
原理
半导体材料
应用
微量元素
探测浓度
高灵敏度
高分辨率
电学特性
测量分析
表面分析
沾污
技术
掺杂
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