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一背景当今精炼技术日新月异,RH真空精炼技术应运而生。真空检漏占据了RH维护工作的大部分时间。由于RH真空精炼系统庞大复杂,一直......
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0引言近年来,基于薄膜体声波传感器(FBAR)的器件备受关注,并开始广泛应用于无线通讯领域和生物组织探测领域[1]。与已经投入广泛应......
