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n型4H-SiC单晶生长工艺研究

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n型4H-SiC 生长温度冷却孔直径掺氮量结晶质量

PVT法生长n型4H-SiC电阻率的研究

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n型4H-SiC 生长温度冷却孔直径掺氮量电阻率均匀性

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