掺溴非晶碳氢薄膜相关论文
在激光惯性约束聚变(ICF)领域中,非晶碳氢(α:CH)由于其特殊性能常被用作微球表面CH烧蚀层材料,以研究内爆动力学。随着ICF研究工作的......
在室温条件下,以溴乙烷为单体、氢气为载气,用13.56MHz射频等离子体化学气相淀积方法(RF-PECVD)在硅片衬底上生长了掺溴非晶碳氢薄膜......