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掺硼比相关论文

硼掺杂对μc-Si：H薄膜微结构和光电性能的影响

采用射频等离子增强化学气相沉积（RF-PECVD）法制备了掺硼氢化微晶硅（μc-Si：H）薄膜,研究了硼掺杂对薄膜的结晶状况、沉积速率、暗电导率......

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p型氢化微晶硅薄膜掺硼比晶化率电导率 p-type μc-Si H films diborane doping ratio crystalline fr

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