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射频溅射法制备掺铂TiO2薄膜的基本性质
用射频反应溅射法制备了掺铂的TiO2薄膜.用X射线衍射仪(XRD),紫外-可见(UV—vis)光谱仪,电子扫描显微电镜(SEM)和X光电子能谱分析仪(X......
期刊
射频溅射法
制备
掺铂
二氧化钛薄膜
富积
表面形貌
TiO_2 Pt surface morphology concentration
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