摆动曲线相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

摆动曲线相关论文

用Bragg-Brentano聚焦几何测试摆动曲线应注意的两个问题

分析了在Ｂｒａｇｇ－Ｂｒｅｎｔａｎｏ聚焦几何下测试摆动曲线时，引起摆动曲线失真的两个因素，提出了用该系统测试摆动曲线应具备的两个必要条件：其一，发散狭缝ＤＳ一定......

期刊

摆动曲线结晶完整性 X射线衍射

光阻膜厚与前层图形对于多晶硅关键尺寸影响的研究

目前整个IC制造工艺中关键尺寸从0.35微米大幅进步到0.18微米之后,已迈向0.13微米,整个技术仍然继续朝着关键尺寸进一步微细化方向......

学位

成品率相位移掩膜光刻胶碟形摆动曲线光学邻近效应

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