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散射光强值相关论文

基于光散射理论的玻璃晶圆表面缺陷检测方法研究

本文对玻璃晶圆加工过程中常见的三种缺陷类型——颗粒缺陷、气泡缺陷、三角形划痕的散射光强进行分析,发现不同缺陷结构在空间中......

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光散射理论非成像缺陷检测散射光空间分布散射光强值缺陷结构缺陷尺寸 light scattering theory non-imaging defect

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