数字外环相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

数字外环相关论文

纳米加工平台X-Y方向运动的数模控制策略

介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析.根据力学方程建立了纳米加工平台的X-Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并......

期刊

纳米加工平台电磁力模拟内环数字外环 PID 模糊控制 nanotechnology-stage analog inner loop electromagn

看过本文同时还关注