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整体式竖直静压滑台相关论文
超精密竖直静压滑台设计及其精度控制方法研究
随着航空、航天和国防建设的快速发展,对高端装备及其关键件的小型化、轻量化、精细化和整体化要求越来越高。以国家急需的高性能......
学位
整体式竖直静压滑台
结构设计
液体静压支承
薄膜节流器
重复定位精度
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