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新型栅控轻掺杂漏区结构相关论文

金属诱导单一方向横向晶化薄膜晶体管以及栅控型轻掺杂漏极结构的研究

提出了一种低温金属单向诱导横向晶化的多晶硅薄膜晶体管(LT_MIUCpoly_SiTFT)的技术.使用该技术可在大面积廉价玻璃衬底上制备出高......

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金属单向诱导横向晶化多晶硅薄膜晶体管新型栅控轻掺杂漏区结构

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