晶圆表面相关硕士博士期刊学术论文

板刷擦洗是一种在化学机械抛光后清洗中常用的方法.它可以非常有效地把研磨剂颗粒从已抛光的晶圆表面去除掉.在氧化硅化学机械抛光......