曲面光刻相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

曲面光刻相关论文

涡轮导叶片表面MEMS高温测量技术

利用MEMS微制造集成技术,在航空发动机涡轮叶片表面成功地制作了薄膜高温温度传感器,攻克了叶片表面高温绝缘、曲表面光刻及高温可......

期刊

高温温度测量航空发动机薄膜传感器原位集成曲面光刻 MEMS微制造集成技术 High temperature measurementAero-engine

曲面激光直写光刻技术研究

本文重点讨论了曲面光刻的关键技术——自动调焦系统,并对曲面工艺及光刻线条进行实验分析。在曲面调焦系统调焦范围过小这一......

学位

曲面光刻调焦预搜索二级驱动

曲面激光直写系统与关键技术研究

在曲面上进行微光刻是当前制作微器件的发展方向之一,曲面激光直写则是曲面微器件,特别是微光学器件制作的一个重要发展方向。相比......

学位

曲面激光直写恒姿态曲面光刻曲面焦点检测曲面焦点控制

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