薄膜硬度测试是薄膜力学性能表征的一个重要方面. 针对硬膜软基底系统, 引入界面约束的概念, 以球形空洞扩张理论为基础, 并假设薄......

基于密度泛函理论，采用局域密度近似（LDA）和广义梯度近似（GGA）泛函研究了硅铍石、尖晶石结构的BeP2N4材料的晶格参数、能带结构、态密度......

本文对不同性质的膜─基体系通过确定Ｃ的具体取值对Ｊｏｅｎｓｓｏｎ－Ｈｏｇｍａｒｋ模型予以修正，研究厂等离子体增强化学气相沉积Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）薄膜的硬度及其随成分组织的变化。......