柱状电容传感器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

柱状电容传感器相关论文

应用于高精度主轴回转误差监测的柱状电容传感器研究

超精密加工技术在精密机械、汽车、航空、航天、IC制造和微电子等诸多高新科技领域都有着非常重要而又广泛的应用,其中高精度主轴......

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超精密加工高精度主轴回转误差柱状电容传感器边缘效应微弱信号检测

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