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正向脉冲相关论文
新型双极性高功率脉冲磁控溅射电源及放电特性研究
独立设计研制了新型两段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射电源,本电源具备3种工作模式:(1)传统高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)放电模式......
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双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射
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夏季实验室恒温控制节能方案
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