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基于UV-LIGA技术的双层微齿轮模具镶块工艺
以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块。首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面......
期刊
UV-LIGA
氧化铟锡(ITO)
背面曝光
正面套刻
双层微齿轮
模具镶块
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