气态杂质相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

气态杂质相关论文

红外系统节流制冷器用氮气纯度的试验研究

红外制导武器系统,特别是小型红外制导导弹多采用3～5μm、8～12μm波段工作的InSb、HgCdTe红外探测器。它们要在70～100K范围内的低温下......

期刊

制冷器毛细管气态杂质氮气纯度制冷工质红外系统

对高纯度硅烷中气态杂质和金属杂质的纯化技术和分析方法

对高纯度硅烷中气态杂质和金属杂质的纯化技术和分析方法ＰａｔｒｉｃｋＡＴａｙｌｏｒ半导体制造商已经长期用硅烷制成硅的薄膜或者硅化合物。将来更高集成度的......

期刊

硅烷气态杂质金属杂质纯化

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