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气相制绒相关论文

金刚石线锯切割多晶硅片的气相制绒研究

采用气相制绒方法对金刚石切割多晶硅片进行表面制绒.2g硅加到HF-HNO3-H2O(400mL,体积比为6:3:1)的酸混合溶液中在室温下反应产生......

期刊

切割纹反射率气相制绒多晶硅金刚石线锯切割

金刚石线锯切割多晶硅片气相刻蚀制绒稳定性及其控制研究

通过传统湿法酸腐蚀,无法在金刚石线锯切割多晶硅片表面制得良好的绒面。气相制绒技术可望有效解决该问题,但其制绒效果稳定性较差......

学位

多晶硅片金刚石线锯太阳电池气相制绒

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