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静压气体轴承在速度较高的机械系统上有着非常广阔的应用。具有配合精度较高、不用考虑摩擦功耗、使用寿命长且内部清洁等诸多优点......
微机电系统（micro-electro-mechanical system，MEMS）是指内部微结构尺寸在微米甚至纳米量级的微电子机械装置，是一个独立的智能系统。......
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