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超精密静压系统的稳定性受节流器微振动影响,然而当前对气体静压节流器微振动的产生机理尚未有明确定论、振动规律及特性研究也不......
以无气腔平面节流器为研究对象,对节流器流固耦合法向随机微振动进行了理论仿真和实验研究。受限于节流器厚度与气膜厚度尺寸的差......
