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钛膜中氘氚浓度的弹性反冲法测量
研究采用弹性反冲探测(ERD)方法测量钛膜中氘、氚的浓度。实验所用Ti膜用磁控溅射法制备,膜厚小于100nm,以石英玻璃(SiO2)为底衬,Ti膜加镀......
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