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氮化物结合碳化硅相关论文
超厚氮化物结合碳化硅材料的性能研究
比较了300 mm厚氮化物(Si3N4、Si2N2O)结合碳化硅材料与传统Si3N4-SiC材料性能上的差异。结果表明:超厚氮化物结合碳化硅材料的使用......
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