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水平震荡机械研磨电镀铜工艺研究
在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,利用SEM和XRD考察了玻璃球数量与震荡频率对机械研磨电镀工艺的影响,并探讨了水平震荡频率和玻璃球......
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水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响
在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,玻璃球以不同频率在试样表面滚动-滑动形成机械研磨(MA)。利用SEM,XRD和AutoLab考察震荡频率对机械研......
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