沉积荧光粉相关硕士博士期刊学术论文

以类金刚石膜的场发射应用为目的,研究了各种沉积条件如:氢等离子体刻蚀、氢气辅助沉积、氮掺杂等技术对膜的场发射性能的影响,摸......