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法拉第离子能量分析器相关论文
PVD和CVD过程中等离子体物理特性混合模拟及实验研究
基于等离子体技术的物理气相沉积(Physical Vapour Deposition, PVD)和化学气相沉积(Chemical Vapour Deposition, CVD)是目前低温......
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