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材料放气定量分析
该装置如图1,由测试系统及抽气系统1、2和充气系统四部分组成。测试系统主要由测试室(22)、四极质谱管(17)、B—A规(16)、试样室(......
期刊
材料放气
测试系统
气体分析
四极质谱计
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蝶阀
机械泵
充气系统
超高真空阀
吸气剂
材料放气率测量方法评述
材料放气率被用于评价真空材料性能,随着理论研究的深入和实践经验的积累,对材料放气率测试方法有了更具体和更深刻的认识。本文介......
期刊
放气率
压力上升率
流导法
系统本底
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