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测量薄膜物理厚度相关论文
基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法
设计了一套利用白光干涉理论测量薄膜厚度的系统,主要包括迈克耳孙白光干涉系统和光纤光谱仪。对干涉信号进行频域分析,结合拟合测......
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白光干涉
测量薄膜物理厚度
等效厚度
频域分析
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