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TP77椭圆偏振光测厚仪功能的拓展研究
成功地将TP77椭圆偏振光测厚仪改装成以卤钨灯或氙灯为光源的广谱椭偏仪.改装后的椭偏仪不含λ/4波长片,而配有一型号为WDG5001A的......
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TP77椭圆偏振光测厚仪
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